新型稱重傳感技術融合了新材料、微機電、微納米等前沿學科，是精準農業、智慧物流，智慧零售等物聯網應用的技術關鍵。智能化、微型化、平面化、低成本、高靈敏度、高可靠性是新型稱重傳感器件的發展趨勢和主要研究方向。碳材料具有極其優異的力學、電學特性，在稱重測力傳感器件方面具有重要應用前景。近年來，碳基傳感材料與傳感器件的研究方興未艾，為稱重測力傳感技術的深入開發與應用帶來了新的機遇。本文主要簡述了碳基傳感材料及其在力傳感器方面的研究與應用，討論了以石墨烯、碳納米管等碳材料為基礎的傳感器件結構原理和制造方法的相關進展。

近年來，隨著物聯網的快速發展，稱重傳感器的應用領域也在不斷擴展。不斷創新的行業模式為稱重傳感器技術的提升提出了很多新的挑戰。目前，稱重傳感器的技術局限主要集中于提高傳感器的穩定性、抗干擾以及耐腐蝕等性能，以及實現傳感器的微型化和平面化等。在過去二十年中，基于金屬箔式應變片的稱重傳感器被廣泛應用于各個行業中，且已經取得了令人矚目的進展。但是，受制于金屬應變片的自身特性（低靈敏度、低過載能力、易腐蝕等），決定了它們無法滿足日益嚴苛的行業需求。

材料科學的進步，使人們可以設計和利用各種功能材料制造性能優異的傳感器[1]。在眾多新材料中，碳材料具有優異的高溫穩定性、抗腐蝕、抗干擾等特性，因此，碳基傳感材料也越來越受到大家的關注。特別是近年來科研界熱捧的石墨烯材料和碳納米管材料，由于具有顯著的力學、電學和熱性能，雖然僅被發現了不足三十年（石墨烯2004年，碳納米管1991年），但已經出現了多個方向的傳感技術應用，有效解決了傳統傳感材料的諸多問題。本文將主要介紹幾種常見的碳基傳感新材料，并從新原理、新工藝等方面介紹了一些新型傳感材料在力傳感器方面的主要研究進展，希望能夠對新型稱重傳感技術的應用和未來發展為同行提供參考。

石墨烯（Graphene）材料與傳感器件 

與傳統體材料相比，石墨烯的獨特之處在于它是由一層碳原子排列形成的穩定而連續的二維平面結構。同時，石墨烯按照一定手性卷起可形成一維的碳納米管,石墨烯多層堆疊則可以形成石墨（如圖1所示）[3]。石墨烯材料具有高的載流子遷移率、電導率、熱導率、力學強度等優異性能，在新型傳感器件領域具有很好的發展潛力[4]。石墨烯優異的力學性能與其碳原子之間的化學鍵和電子結構具有緊密聯系。由于所有碳原子被束縛在同一個平面內，使其具有超高的強度、剛度和韌性以及作為二維材料帶來的獨特變形機制。同時，石墨烯材料的高遷移率意味著只要施加較小的應力也可以使材料電阻發生急劇的變化。

2010年LeeY.等人[5]首先報道了基于CVD法制備石墨烯的應力傳感器，其壓阻靈敏系數為6.1。一種石墨烯波紋結構應力傳感器，使應力測量范圍超過30%，設計了一種基于隧穿效應的納米石墨烯薄膜應力傳感器，使靈敏系數提高到500以上，其彎曲與拉伸過程中的重復電阻特性證明石墨烯可應用于高性能應力傳感器。Yu等人[7]研究了單層石墨烯應力傳感器的可靠性問題，結果表明單層石墨烯只要在拉伸率低于4.5%范圍以內都是可以恢復的。上述幾種石墨烯傳感器的工作原理主要是利用其壓阻特性。1000mbar（1mbar=102Pa）時可以準確測量壓力。該傳感器沒有遲滯性，且重復性好。J.Ma等人[9]提出了一種高靈敏度光纖石墨烯壓力傳感器，該傳感器的制造是通過熔融石英毛細管到單模光纖的末端，在內部施加氣壓后毛細管逐漸變細，然后熔融毛細管形成氣腔。石墨烯薄膜覆蓋在圓柱形空腔上，不但可以檢測外部壓力變化，而且可以對空腔起密封作用。該傳感器溫度敏感性低，并具有應用于惡劣環境的潛力，但是上述兩類傳感器的共同缺點是密封空腔內氣體長期使用會有輕微泄漏。

碳納米管（CNT）材料與傳感器件

CNT的性質與其結構密切相關，根據直徑和管壁的螺旋角不同，CNT既可表現出金屬的導電特性，也可出現半導體特性，同時具有良好的導熱特性，可應用于多種傳感器件[10]。CNT具有優異的導電和電荷存儲能力，良好的機械性能，在拉伸時不容易斷裂，由于其網絡結構隨應力發生密度變化從而導致電阻的變化，因此可通過檢測器件電阻或者電容變化獲取施加力的大小。將一維的CNT和零維的金屬納米顆粒復合，能提高器件的靈敏度、恢復性和穩定性[4]。Zhang等人通過CNT和銀納米顆粒復合，制備出拉伸度大且靈敏度高的拉力傳感器[11]。Cai等人[12]將Ti3C2TxMXene與CNTs復合制備出用于應變傳感器的新型材料，該應變傳感器具有超低檢測極限（0.1%應變），高拉伸性（達130％），高靈敏度（靈敏度系數~772.6），可調節的應變檢測范圍（30-130%），超薄器件尺寸（<2μm）及優異的耐久性和穩定性（>5000次循環）。

其他碳基材料與傳感器件

石墨產品具有良好的耐高溫性、電學性能、化學穩定性以及可塑性，抗熱震等特殊性能，是工業生產中不可或缺的高性能廉價材料。石墨、炭黑等碳基材料已被廣泛地應用于柔性測力傳感器。具有低電阻率的碳系微納米級材料，如炭黑、石墨被填充到絕緣的高分子聚合物基體中，可形成半導體或導體材料[13]。WANG等[14]研究了炭黑/硅橡膠復合材料的力敏性質并制備了陣列式柔性力敏傳感器，在0～2MPa范圍內實現了較高的測量精度。YI等[15]采用二甲基硅油作為稀釋劑和增塑劑，將導電炭黑納米顆粒填充到有機硅彈性體復合材料中，制造具有應用潛能的應變傳感器。He等[16]基于改性石墨/PU復合薄膜制備了低成本、高靈敏度、重復性好并工藝簡單的柔性測力傳感器。

碳纖維復合材料(CFRP)具有強度高、質量輕、耐腐蝕和抗疲勞等優點，因此在工程承載上已有廣泛應用。同時，研究和實驗表明，CFRP還具有良好電阻應變效應，因此也是新型的傳感材料。黃俊捷等[17]利用CFRP的力阻效應設計了一種應變傳感器用于復雜受力狀況下的結構狀態監測，取得了很好的效果，CFRP傳感材料能夠較為直觀地反映以上結構信息。

評價稱重傳感器好壞的性能指標主要有非線性、滯后、重復性、蠕變、零點溫度特性和靈敏度溫度特性等。另外，在很多物聯網應用場合中，還需要考慮傳感材料應具有靈敏度高、測量范圍寬和響應時間快等關鍵特性。因此，為了開發出具有實際應用價值的新型稱重測力傳感器件，研究時應考慮上述幾個重要指標。

基于碳基傳感材料的力傳感器有壓阻式、電容式、壓電式、諧振式以及光纖式等等。其中，壓阻式測力傳感器是基于敏感材料的電阻率變化，將力學量轉化為電信號。由于壓阻式傳感器工藝簡單、成本低廉，在許多領域有著廣泛的應用。電容式測力傳感器可以看作是可變參數的電容器，例如兩個平行電極間以空氣為介質，在壓力的作用下，平行電極間的距離變化會導致電容信號改變，從而得到相應的受力信息。電容式傳感器的優勢在于靈敏度高，能夠在低耗能情況下檢測微小靜態力。因此，基于上述兩種敏感機理的碳基力傳感器是目前主要的研究方向，相關研究成果最多。

研究結果表明，碳基傳感材料具有高靈敏度，在動態測量、小力值測量等方面具有顯著優勢。目前主要存在的問題在于，碳基傳感器件或其原材料的制備很多涉及蒸鍍、光刻等微納加工方式，目前的成本還比較高、工序復雜，不利于在稱重測力傳感器中的應用推廣。另外，碳基稱重測力傳感器的性能影響因素還缺乏系統研究，特別是對于如何構建具有靈敏度高、穩定性好的高精度稱重傳感元件仍有必要進一步分析研究。因此，開發一種低成本、適合大批量生產的制備與封裝方法，并系統研究測力傳感器的性能影響因素具有重要的科研和實際應用價值。

當前，新一輪技術革命和產業變革正蓄勢待發，學科之間相互交叉融合、互相滲透，新型傳感器件將進入一個重要的發展時期。碳基傳感材料具有一系列適合于測力傳感器應用的優異性質，研究人員已經做了很多相關研究，并取得了不錯的進展。雖然目前高性能碳基傳感材料與器件的研究與開發仍然存在許多挑戰，但是我們相信未來必將有更多的新型材料應用于稱重傳感技術，推動稱重技術的前進和發展。

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主要產品有多個品種的稱重、測力、壓力、扭矩傳感器等千余款產品。稱重范圍小到幾克，大到1000多噸；有適用于各種惡劣環境的高、中、低溫傳感器和高防護等級傳感器。這些產品廣泛應用于航空航天、汽車制造、紡織、電子、油田、化工、機械加工、能源、環保、醫療、交通、建材等領域自動化工程的檢測和過程控制。

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